扫一扫
关注中图网
官方微博
-
微电子工艺技术与仿真/王强等
¥29.8(8.5折)定价:¥35.0《微电子工艺技术与仿真》共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长与制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。每章的编纂既体现了微电子工艺技术的科学性，又通过分析具体的工艺方法，体现了技术性。针对微电子工艺的实践性要求，克服高校因经费问题无法进行实验的不足，《微电子工艺技术与仿真》重点编撰了相关仿真内容，通过仿真实例的设计与分析，让学生
